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                ASML首臺全新極紫外光刻機已交貨
                
            
                
                                ©原創
                                
                                
                
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                　　阿斯麥ASML方面表示，EUV(極紫外光)光刻業務:第一臺NXE:3600D已出貨給客戶。相較于前一代產品，NXE:3600D的生產力提高15%到20%，且套刻精度也提高30%。ASML正增加EUV在存儲產業的量產應用，并將計劃協助三個DRAM客戶實現在未來的制程節點中導入EUV。
                                            
                
            
            
                
                
                




            
                
        
                

        
        
        
        

                
    
                
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