晶盛機(jī)電首臺(tái)12英寸硬軸直拉爐成功生長(zhǎng)出硅單晶

　　晶盛機(jī)電消息，7月20日，晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)12英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長(zhǎng)出首顆12英寸硅單晶。這是繼2020年8月國(guó)內(nèi)首臺(tái)8英寸硬軸直拉爐生長(zhǎng)出8英寸硅單晶之后，又一次在半導(dǎo)體級(jí)硅單晶生長(zhǎng)裝備上取得的重要技術(shù)進(jìn)展，為國(guó)內(nèi)大硅片行業(yè)技術(shù)升級(jí)提供了裝備保障。