近日，青島高新區(qū)2022年春季10個(gè)重點(diǎn)項(xiàng)目正式啟動(dòng)建設(shè)。其中，總投資7億元的華芯晶元第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項(xiàng)目，將建設(shè)半導(dǎo)體襯底智能生產(chǎn)工廠，加工生產(chǎn)新一代晶片襯底產(chǎn)品，有效突破我國(guó)芯片制約性難題。
作為新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的細(xì)分領(lǐng)域，半導(dǎo)體一直是青島高新區(qū)產(chǎn)業(yè)布局的重點(diǎn)方向，目前已有20多家上下游企業(yè)在這里集聚，形成了包括芯片設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試、設(shè)備制造、材料加工等在內(nèi)的半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈雛形。
▲工作人員正在對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行檢測(cè)
年產(chǎn)33萬(wàn)片，助力突破芯片難題
近日，在青島高新區(qū)，華芯晶元第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項(xiàng)目正式啟動(dòng)建設(shè)，該項(xiàng)目采用碳化硅、氮化鎵、氧化鎵等第三代半導(dǎo)體化合物材料加工生產(chǎn)相關(guān)芯片襯底產(chǎn)品，廣泛用于光電子器件（激光器、探測(cè)器等），大功率器件（充電樁、新能源汽車(chē)動(dòng)力組件、軌道交通、特高壓輸電組件等），及通訊微波射頻器件（4G、5G通訊基站）。
“我們深耕半導(dǎo)體化合物基礎(chǔ)材料研發(fā)和生產(chǎn)多年，具備了藍(lán)寶石、磷化銦、碳化硅、氧化鎵等一系列第二代、第三代半導(dǎo)體化合物的技術(shù)儲(chǔ)備和產(chǎn)業(yè)化能力，致力于打造青島市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈科技創(chuàng)新平臺(tái)。”青島華芯晶元半導(dǎo)體科技有限公司董事長(zhǎng)肖迪表示。氧化鎵晶體是一種新型的超寬禁帶半導(dǎo)體，它具有禁帶寬度更大、吸收截止邊更短、生長(zhǎng)成本更低等突出優(yōu)點(diǎn)，成為超高壓功率器件和深紫外光電子器件的優(yōu)選材料之一。由于在軍事、能源、醫(yī)療、環(huán)境等領(lǐng)域有重要應(yīng)用價(jià)值，近年來(lái)，氧化鎵材料及器件的研究與應(yīng)用，呈現(xiàn)出顯著的加速發(fā)展勢(shì)頭，是當(dāng)前德國(guó)、日本、美國(guó)等國(guó)家的研究熱點(diǎn)和競(jìng)爭(zhēng)重點(diǎn)。
據(jù)悉，該項(xiàng)目將建設(shè)半導(dǎo)體襯底智能生產(chǎn)工廠，加工生產(chǎn)新一代晶片襯底產(chǎn)品，助力突破我國(guó)芯片制約性難題，達(dá)產(chǎn)后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)第三代大尺寸半導(dǎo)體化合物晶片襯底33萬(wàn)片，年產(chǎn)值5億元。該項(xiàng)目的順利開(kāi)工，標(biāo)志著華芯第三代半導(dǎo)體材料批量生產(chǎn)進(jìn)入了實(shí)質(zhì)性階段，為我國(guó)第三代半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)化邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。
“鏈?zhǔn)健闭幸炌ㄉ舷掠萎a(chǎn)業(yè)鏈
華芯晶元第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項(xiàng)目的落地，加速了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在青島高新區(qū)的集聚，也為青島新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)增添了強(qiáng)勁的“芯”動(dòng)力。
▲各種規(guī)格的半導(dǎo)體晶片
作為新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的細(xì)分領(lǐng)域，半導(dǎo)體一直是青島高新區(qū)產(chǎn)業(yè)布局的重點(diǎn)方向。據(jù)青島高新區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)事業(yè)部相關(guān)工作人員介紹，半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)流程十分復(fù)雜，大致可分為設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試等環(huán)節(jié)，而青島高新區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大致可分為設(shè)備類(lèi)、材料類(lèi)、設(shè)計(jì)類(lèi)、制造類(lèi)等。
在設(shè)備類(lèi)的企業(yè)中，埃地沃茲真空泵制造（青島）有限公司、高測(cè)股份、青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司是代表企業(yè)。其中，埃地沃茲是世界500強(qiáng)企業(yè)阿特拉斯·科普柯集團(tuán)旗下的品牌企業(yè)，其產(chǎn)品半導(dǎo)體真空設(shè)備干泵的全球市場(chǎng)占有率連續(xù)多年超過(guò)50%，成為該領(lǐng)域世界第一品牌。“我們的合作伙伴包括京東方、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、三星、臺(tái)積電和富士康等半導(dǎo)體領(lǐng)域知名企業(yè)。” 埃地沃茲真空泵制造（青島）有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，真空泵市場(chǎng)在持續(xù)膨脹中，尤其是中國(guó)市場(chǎng)已進(jìn)入快速增長(zhǎng)期，發(fā)展前景廣闊。
青島嘉星晶電科技股份有限公司則是一家專(zhuān)注從事半導(dǎo)體材料研發(fā)、半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)、半導(dǎo)體技術(shù)服務(wù)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。“我們生產(chǎn)的藍(lán)寶石襯底晶片被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及微電子行業(yè)、照明行業(yè)、手機(jī)電子消費(fèi)品等領(lǐng)域，在藍(lán)寶石襯底領(lǐng)域約占全國(guó)10%的市場(chǎng)份額。”嘉星晶電相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。
傳感器素有“電子五官”之稱(chēng)，是一切數(shù)據(jù)信息獲取的功能器件。青島智騰微電子有限公司專(zhuān)注于高端傳感器和厚膜混合集成電路的設(shè)計(jì)研發(fā)和生產(chǎn)制造，重點(diǎn)從事加速度傳感器、定向傳感器、慣性導(dǎo)航測(cè)量設(shè)備等產(chǎn)品研制生產(chǎn)……
共抓產(chǎn)業(yè)鏈，貫通上下游。如今，已有20多家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)在青島高新區(qū)集聚，涵蓋芯片設(shè)計(jì)、材料加工、裝備制造、應(yīng)用開(kāi)發(fā)等領(lǐng)域，產(chǎn)業(yè)鏈初具規(guī)模。
提升服務(wù)，優(yōu)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)
加大項(xiàng)目招引力度，打通產(chǎn)業(yè)發(fā)展鏈條，服務(wù)也必須跟得上。這一點(diǎn)，華芯晶元第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項(xiàng)目負(fù)責(zé)人吳志濤感慨頗深，“我們的建設(shè)工程許可證本來(lái)需要一周左右的時(shí)間，現(xiàn)在兩天就辦好了。”吳志濤表示，青島高新區(qū)專(zhuān)門(mén)成立了項(xiàng)目推進(jìn)部，專(zhuān)人協(xié)助辦理相關(guān)事項(xiàng)，項(xiàng)目所需各項(xiàng)手續(xù)并聯(lián)審批、壓茬推進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了高效率落地開(kāi)工。這也讓肖迪對(duì)未來(lái)充滿(mǎn)信心，“我們會(huì)努力將第三代半導(dǎo)體化合物晶片襯底項(xiàng)目建設(shè)成樣板工程、精品工程，為青島乃至全國(guó)的第三代半導(dǎo)體材料的自主研發(fā)和生產(chǎn)奠定基礎(chǔ)。”
眾多周知，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展有利于突破諸多“卡脖子”的難題，為此，青島高新區(qū)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展給予了重點(diǎn)支持，如設(shè)備、流片補(bǔ)貼，相關(guān)人才政策，便利審批服務(wù)，企業(yè)網(wǎng)格員服務(wù)等。“此次引進(jìn)半導(dǎo)體項(xiàng)目的落地，將有效帶動(dòng)高新區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，加快區(qū)域半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型升級(jí)，強(qiáng)化相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈上下游集群效應(yīng)，對(duì)推動(dòng)高新區(qū)、青島乃至山東省在先進(jìn)半導(dǎo)體材料行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步具有示范效應(yīng)。”青島高新區(qū)招商部相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。
伴隨一個(gè)個(gè)關(guān)鍵項(xiàng)目的加快落地，青島高新區(qū)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈條也日漸完備起來(lái)。下一步，青島高新區(qū)將從芯片設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體設(shè)備制造、封裝測(cè)試、二代和三代半導(dǎo)體材料生產(chǎn)及加工等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)細(xì)分領(lǐng)域入手，繼續(xù)擴(kuò)充半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)儲(chǔ)備資源。與此同時(shí)，不斷優(yōu)化營(yíng)商環(huán)境，吸引更多優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目及高端人才來(lái)青島高新區(qū)發(fā)展，進(jìn)一步完善產(chǎn)業(yè)鏈條，撬動(dòng)發(fā)展強(qiáng)動(dòng)能，營(yíng)造良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地。
青島財(cái)經(jīng)日?qǐng)?bào)/首頁(yè)新聞?dòng)浾?孫夢(mèng) 通訊員 肖玲玲 李青健
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