國數科技發布國內首款硅基壓電MEMS水聽器芯片

近日，青島國數信息科技有限公司在青島正式發布了國內首款硅基壓電MEMS水聽器芯片，以及基于該芯片構建的MEMS水聽器、芯片開發套件、處理軟件和聲學仿真平臺一體化系列產品。該芯片由國數科技旗下國數微電子研發團隊設計開發，是一款全自主國產化芯片，為高端水聲器件與裝備提供全新解決方案。

據了解，水聽器即水下麥克風，是把水下聲信號轉換為電信號的換能器。國數科技副總裁、戰略創新中心負責人楊華在新品發布會上表示，硅基壓電MEMS水聽器芯片，從設計到工藝，保證了器件的高一致性與低成本，在10Hz-100KHz帶寬內保持高靈敏度，6mm*6mm尺寸芯片靈敏度-205dB re 1V/μPa。這是一款小尺寸、高性能、低成本的新型海洋聲學探測芯片，可在環境、漁業、探測領域多場景下投入應用。

性能指標優越功耗降低30%

MEMS水聽器芯片基于擁有自主知識產權的陣列式環狀電極芯片架構，采用氮化鋁（ALN）新型壓電薄膜材料，基于微器件和半導體新工藝制備，實現了高靈敏度、高一致性、高信噪比的優越性能指標以及小型化、低功耗的尖端功能指標。

楊華說：“相較傳統的壓電陶瓷（PZT）和氧化鋅（ZnO）等壓電材料， AlN介電常數低，可與CMOS工藝兼容且不需要極化，有利于實現器件的高信噪比、高集成化。”硅基MEMS芯片能更好的實現水聽器的輕量化與低功耗，與目前市面上同類的壓電陶瓷類水聽器產品相比，采用AlN壓電薄膜的MEMS芯片的水聽器尺寸減小50%，功耗降低30%。

適合更多種聲學探測應用

器件的高一致性、高靈敏度和高信噪比（SNR）令國數的硅基MEMS水聽器芯片適合多種環境中需要超高的動態范圍、遠場的聲學探測應用。超高一致性的靈敏度匹配能夠針對多水聽器陣列優化波束成形和噪聲消除算法，低功耗產品性能能夠延長海洋監測應用周期。

硅基MEMS水聽器芯片適用于環境、漁業、探測等應用領域：聲納設備；浮潛標觀測監測平臺；AUV、ROV等水下探測機器人；水聲監測網網絡節點；潛器表面貼裝；魚探儀；聲學導引設備。

國數科技硅基MEMS水聽器提供芯片級和器件級封裝，由于尺寸小，可進一步拓展應用環境，提供軟件和聲學仿真平臺支持，確保應用所需的快速開發的最佳解決方案。

填補行業“技術空白”

國數科技MEMS水聽器芯片以國內領先為起點，對標、趕超國際技術現狀，站在了海洋聲學探測芯片發展的歷史關鍵點，致力于為海洋聲學探測器件帶來性能上的突破。

新型MEMS水聽器芯片的研發與應用，是團隊一直以來努力的重要方向。國數科技將以解決國家技術“卡脖子”與填補“技術空白”為時代使命，不斷擴大產品系列，為實現海洋強國“從芯開始，篤行不怠”，向著科技創新的巔峰出發。

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青島國數信息科技有限公司自成立以來，經過多年的不斷堅持與努力，現已發展為集產、學、研、服務為一體的創新型科技公司。公司專注于海洋通信與探測領域系統與裝備的研發制造及等級維保服務，核心技術為完全自主知識產權的裝備級全過程電子信號處理能力。公司以核心技術為依托，一方面瞄準海洋領域水上水下的通信與探測需求，自主研制軍民領域應用裝備；一方面與相關專業院所及承制單位合作，為其提供配套研發制造服務。

國數科技旗下微電子研發團隊，以“海洋強國”戰略為指引，以解決國家技術“卡脖子”與填補“技術空白”為時代使命，專注海洋通信與探測領域芯片研制，致力于成為海洋芯片領域的研制專家。

青島財經日報/首頁傳媒記者  宋大偉